Vakuumkomponenten zum Schutz der Vakuum-Messtechnik

Neben robusten Sensoren ist ein durchdachter Anlagenaufbau essenziell, um eine lange Lebensdauer der Messgeräte, auch in anspruchsvollen Vakuumanwendungen, sicherzustellen.

Im Grob- und Feinvakuum helfen verschiedene Bauteile, Ablagerungen, welche z. B. durch ölgeschmierte Vakuumpumpen verursacht werden, abzufangen. Als „Kühlfallen“ haben sich Winkelstücke und Rohrspiralen bewährt, da Dämpfe an deren kühler Metalloberfläche kondensieren und die Messtechnik so geschützt wird.

Auch Dichtringe mit einem feinen Drahtfilter können eingesetzt werden. Um zu verhindern, dass ein Druckgradient entsteht, der Einfluss auf die Messwerte nimmt, sollten diese regelmäßig auf Verschmutzung überprüft und gegebenenfalls getauscht werden.

Aus eigener Entwicklung stammen speziell konstruierte Metall-Baffles, die der Verschmutzung oder Beschichtung des Sensors weitgehend vorbeugen. Sie verhindern, dass bei Beschichtungsprozessen im Fein- und Hochvakuum das Innere der Messzelle mitbeschichtet wird und sind insbesondere für Sputter- und PVD-Prozesse zu empfehlen.

Dichtringe und Baffles sind als kostengünstige Lösung besonders beliebt, da sie auf Platzbedarf und Einbauposition keinen Einfluss haben.

Durch korrekten Einsatz der Vakuummesstechnik und Ergreifen der entsprechenden Schutzmaßnahmen erhöht sich die Nutzungsdauer der Sensoren deutlich, wodurch sich Wartungsaufwand und Ausfallzeiten minimieren.